エガシラ　ヤスユキ   江頭　靖幸    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1993
形態種別	解説記事
標題	ＣＶＤ法によるナノストラクチャAlN膜合成とそのメカニズム
執筆形態	共著
掲載誌名	新素材
巻・号・頁	4(1),45-49頁
著者・共著者	小宮山 宏、大沢 利男、金 煕濬、江頭 靖幸