エガシラ　ヤスユキ   江頭　靖幸    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1993
形態種別	学術論文
標題	Step-Coverage Simulation for Tetraethoxysilane and Ozone Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition
執筆形態	共著
掲載誌名	J. Electrochem. Soc.
巻・号・頁	140,pp.2309-2312
著者・共著者	K.Fujino, Y.Egashira, Y.Shimogaki and H.Komiyama