エガシラ　ヤスユキ   江頭　靖幸    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1993
形態種別	学術論文
標題	The Formation Mechanism and Step Coverage Quality of Tetraethylorthosilicate-SiO2 Films Studied by the Micro/Macrocavity Method
執筆形態	共著
掲載誌名	J. Electrochem. Soc.
巻・号・頁	140,pp.2952-2959
著者・共著者	T.Sorita, S.Shiga, K.Ikuta, Y.Egashira and H.Komiyama