エガシラ ヤスユキ
  江頭 靖幸
   所属   工学部 応用化学科
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1995
形態種別 学術論文
標題 WF6/Si2H6によるブランケットCVDのモデリングとシミュレーション
執筆形態 共著
掲載誌名 電気情報通信学会論文誌
巻・号・頁 C-II Vol.J78-C-II(No.5),213-220頁
著者・共著者 江頭 靖幸、会田 弘文、斉藤 丈靖、霜垣 幸浩、小宮山 宏、菅原 活郎