エガシラ　ヤスユキ   江頭　靖幸    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1995
形態種別	学術論文
標題	WSix-ＣＶＤプロセスの反応機構
執筆形態	共著
掲載誌名	電気情報通信学会論文誌
巻・号・頁	C-II Vol.J78-C-II(No.5),221-229頁
著者・共著者	斉藤 丈靖、霜垣 幸浩、江頭 靖幸、小宮山 宏、菅原 活郎、高広 克己、永田 晋二、山口 貞衛