ニシオ　カズユキ   西尾　和之    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2005/05
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Direct Nanoimprinting of Si Single Crystals Using SiC Molds for Ordered Anodic Tunnel Etching.
執筆形態	共著
掲載誌名	Adv. Mater.
概要	主筆 ナノスケールの規則突起配列を有するモールドをSiにプレスし，Siの表面にナノスケールの窪みの配列を形成した．このSiを適切な条件でアノードエッチングする事により，ナノスケールで細孔が規則配列したポーラスSiを形成することができた．