キムラ　ヤスオ   木村　康男    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2010
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Atomic layer deposition of SiO(2) from Tris(dimethylamino)silane and ozone by using temperature-controlled water vapor treatment
執筆形態	共著
掲載誌名	Thin Solid Films
出版社・発行元	0
巻・号・頁	519(1),pp.270-275
著者・共著者	F. Hirose, Kinoshita, Y. Kinoshita, S. Shibuya, Y. Narita, Y. Takahashi, H. Miya, K. Hirahara, Y. Kimura, and M. Niwano