キムラ ヤスオ
木村 康男
所属
工学部 電気電子工学科
職種
教授
言語種別
日本語
発行・発表の年月
2004
形態種別
学術論文
査読
査読あり
標題
多重内部反射型赤外吸収分光法によるシリコン表面の電気化学エッチング過程の“その場”観察
執筆形態
共著
掲載誌名
表面科学
出版社・発行元
0
巻・号・頁
25(2),84-90頁
著者・共著者
木村康男
, 細井宜伸, 石井久夫, 庭野道夫