キムラ　ヤスオ   木村　康男    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1996
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Real-Time, In-Situ Infrared Study of Etching of Si(100) and (111) Surface in Dilute Hydrofluoric Acid Solution
執筆形態	共著
掲載誌名	Journal of Applied Physics
出版社・発行元	0
巻・号・頁	79(7),pp.3708-3713
担当範囲	0
著者・共著者	M. Niwano, T. Miura, Y. Kimura, R. Tajima, and N. Miyamoto