キムラ　ヤスオ   木村　康男    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2002
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Infrared spectroscopy study of silane on Si(001)
執筆形態	共著
掲載誌名	Surface Science
出版社・発行元	0
巻・号・頁	502-503(0),pp.96-101
担当範囲	0
著者・共著者	Masanori Shinohara, Yasuo Kimura, Mineo Saito, and Michio Niwano